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真空镀膜机镀膜需要配备的几个真空计

2021-12-29

真空镀膜腔体内真空丈量是指用特定的仪器和安装,对某一特定空间内真空上下的测定。这种仪器或安装称为真空计(仪器、规管)。真空计的品种很多,通常按丈量原理可分为绝对真空计和相对真空计。凡经过测定物理参数直接取得气体压强的真空计均为绝对真空计,例如U型压力计、紧缩式真空计等,这类真空计所丈量的物理参数与气体成分无关,丈量比拟精确,但是在气体压强很低的状况下,直接停止丈量是极端艰难的;而经过丈量与压强有关的物理量,并与绝对真空计比拟后得到压强值的真空计则称为相对真空计,如放电真空计,热传导真空计,电离真空计等,它的特性是丈量的精确度略差,而且和气体的品种有关。在实践消费中,除真空校准外,大都运用相对真空计。本节主要对电阻真空计、热偶真空计、电离真空计的工作原理、丈量范围等停止引见。1552027563212107.jpg

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