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溅射镀膜工艺有哪些常见的问题

2019-04-26


溅射镀膜常见质量问题如下:

1、镀膜时薄膜出现孔洞 原因: ①蒸发舟内铝料太满。解决方法:降低送铝速度;提高蒸发舟电流。 ②真空室内蒸发舟之间出现短路。解决方法:排除短路。 ③真空室内杂质飞溅

2、镀膜时薄膜出现拉伸现象 原因: ①基材张力太大。解决方法:调节放卷、卷取张力控制系统,适当减少张力。 ②冷却系统工作失常。解决方法:检查冷却系统,并排除故障。真空镀膜公司

3、薄膜表面出现褐色条纹 原因: ①真空度低 解决方法:清洁真空室内的送铝、蒸镀装置、冷却系统、放卷、卷取装置及导辊;检查抽真空系统;降低环境湿度。 ②薄膜释放气体。解决方法:薄膜预干燥;延长抽真空时间。 ③喷铝过多。解决方法:提高车速;降低蒸发舟电流;降低送铝速度。 ④蒸发舟内有杂质。解决方法:清洁蒸发舟及热屏蔽板。 ⑤蒸发舟老化。解决方法:更换蒸发舟。 真空镀铝是在真空状态下,将铝金属加热熔融至蒸发,铝原子凝结在高分子材料表面,形成极薄的铝层。真空镀铝要求基材表面光滑、平整、厚度均匀;挺度和摩擦系数适当;表面张力大于38Dyn/Cm2;热性能好,经得起蒸发源的热辐射和冷凝热的作用;基材含水量低于0.1%。常用的镀铝基材有聚酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚酰胺(PA)、聚乙烯(PE)、聚氯乙烯(PVC)等薄膜,工艺要求;真空度不得低于103PA,以免出现褐色条纹或铝层厚度不均现象;控制好系统张力,开启冷却系统,避免薄膜受热出现拉伸变形;精确控制卷取速度(280~320m/min)、送铝速度(0.4~0.7m/min?2mm铝丝)及蒸发舟加热电流,以获得产品要求的铝层厚度(100~300A°);可预先在薄膜上涂布一定干量的底胶,并充分干燥,再经真空镀铝,可提高铝层与薄膜的结合力。而后在铝膜上涂布一定量的保护树脂,防止铝层氧化变质。经此工艺形成的镀铝薄膜,耐摩擦,且不易变质。

1)镀膜前的准备 

镜片在接受镀膜前必须进行预清洗,这种清洗要求很高,达到分子级。在清洗槽中分别放置各种清洗液,并采用超声波加强清洗效果,当镜片清洗完后,放进真空舱内,在此过程中要特别注意避免空气中的灰尘和垃圾再黏附在镜片表面。最后的清洗是在真空舱内,在此过程中要特别注意避免空气中的灰尘和垃圾再黏附在镜片表面。最后的清洗是在真空舱内镀前进行的,放置在真空舱内的离子枪将轰击镜片的表面(例如用氩离子),完成此道清洗工序后即进行减反射膜的镀膜。 

2)苏州真空镀膜 

真空蒸发工艺能够保证将纯质的镀膜材料镀于钢化玻璃镜片的表面,同时在蒸发过程中,对镀膜材料的化学成分能严密控制。真空蒸发工艺能够对于膜层的厚度精确控制,精度达到。 

3)膜层牢固性 

对眼镜片而言,膜层的牢固性是至关重要的,是镜片重要的质量指标。镜片的质量指标包括镜片抗磨损、抗文化馆、抗温差等。因此现在有了许多针对性的物理化学测试方法,在模拟戴镜者的使用条件下,对镀膜镜片进行膜层牢度质量的测试。这些测试方法包括:盐水试验、蒸汽试验、去离子水试验、钢丝绒磨擦试验、溶解试验、黏着试验、温差试验和潮湿度试验等等。 

三、 苏州真空镀膜抗污膜(顶膜) 

(1)苏州真空镀膜原理 

镜片表面镀有多层减反射膜后,镜片特别容易产生污渍,而污渍会破坏减反射膜的减反射效果。在显微镜下,我们可以发现减反射膜层呈孔状结构,所以油污特别容易浸润至减反射膜层。解决的方法是在减反射膜层上再镀一层具有抗油污和抗水性能的顶膜,而且这层膜必须非常薄,以使其不会改变减反射膜的光学性能。 

(2)苏州真空镀膜工艺 

抗污膜的材料以氟化物为主,有二种加工方法,一种是浸泡法,一种是真空镀膜,而最常见的方法是真空镀膜。而最常用的方法是真空镀膜。当减反射膜层完成后,可使用蒸发工艺将氟化物镀于反射膜上。抗污膜可将多孔的减反射膜层覆盖起来,并且能够将水和油与镜片的接触面积减少,使油和水滴不易粘附于镜片表面,因此也称为防水膜。 

对于有机镜片而言,理想的表面系统处理应该是包括抗磨损膜、多层减反射膜和顶膜抗污膜的复合膜。通常抗磨损膜镀层最厚,约为3-5mm,多层减反射膜的厚度约为0.3um,顶层抗污腊镀最薄,约为0.005-0.01mm。以法国依视路公司的钻晶(crizal),复合膜为例,在镜片的片基上首先镀上具有有机硅的耐磨损膜;然后采用IPC的技术,用离子轰击进行镀减反射膜前的预清洗;清洗后采用高硬度的二氧化锆(ZrO2)等材料进行多层减反射膜层的真空镀制;最后再镀上具有110的接触角度的顶膜。钻晶复合膜技术的研制成功表明了有机镜片的表面处理技术达到了一个新的高度。

如果只是就膜厚仪测试来讲的话,真空镀膜和光学镀膜的区别就是:

1、真空镀膜:一般TiN,CrN,TiC,ZrN,电镀出来的厚度大概是3~5微米。一般情况真空镀膜的厚度是在设备上测试不出来了;

2、苏州真空镀膜的膜厚测试可以在镀膜机的中间顶上装置膜厚测试仪即可。

最早的是光控测试,现在一般用晶控(晶振片)使用的是晶振片震动的频率来测试镀膜的厚度。不同膜层的厚度不同。

就算镀膜机是国产的,膜厚测试仪也是美国或者是韩国的


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